RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-150-SL-RTP | ||
開啟式RTP快速升降溫退火爐,是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設備。本產品采用制造工藝,造型新穎結構合理,爐體上下兩半設計,可自由打開閉合,安全可靠,爐管外徑150mm,爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高溫保護涂層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內溫度穩(wěn)定性。試驗樣品放置于密封的石英管內,內部潔凈度高,可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導體器件研發(fā)及生產等領域,該系統可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產品采用紅外加熱,升溫速度快達30℃/S,爐體下部配有軌道,可左右移動至底部風扇處,以達到快速冷卻的目的。 | ||
技術參數 | ||
項目 | 主要技術指標 | 數據 |
規(guī)格型號 | MXG1200-150-SL-RTP | |
溫度控制 | 溫度點 | 1200℃ |
額定溫度 | 1100℃ | |
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 200-1050℃ | |
溫度測量精度 | ±0.2℃ | |
溫度控制重復性 | ±1℃ | |
溫度控制精確度 | ±1℃ | |
溫度均勻性 | ±2℃ | |
溫度狀態(tài)工藝時間 | 7-32 S(200-1050℃) | |
升溫速率 | 30℃/S(可按需定制) | |
降溫速率 | 1-200℃(將試樣移出加熱區(qū)域或通氮氣可加快降溫) | |
溫度控制模式 | 智能模糊PID全閉環(huán)控制 | |
觸摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
物理指標 | 功率 | 27 Kw |
額定電壓 | AC380V,50/60Hz | |
測溫元件型號 | K型熱電偶 | |
石英管規(guī)格 | Φ150*1500 | |
真空度 | 選配分子泵真空度可達6*10-3Pa | |
抽氣端口尺寸 | KF40或Φ6mm | |
進氣端口尺寸 | Φ6mm | |
冷卻方式 | 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2) | |
外形尺寸 | 深600*寬1520*高700 | |
設備重量 | 100Kg |
公司簡介
西安莫吉娜儀器制造有限公司是一家集開發(fā),生產,銷售為一體的具有獨立法人資格的綜合性民營企業(yè),學校實驗室*。企業(yè)的宗旨是:守信譽,重合同,提供高質量,性能優(yōu)的產品。
西安莫吉娜儀器制造有限公司成立于2007年,公司位于陜西省西安市鳳城十二路陜西西安出口加工區(qū)一期多層廠房A4座,是一家大型的專業(yè)研制高科技儀器產品的公司,面對西安林立的高等院校及眾多的化工科研單位,我們具有非常大的地理優(yōu)勢。同時,我們從西安各大高校中物色了*專業(yè)知識的技術人才,使得我們的產品質量具有非常大的技術優(yōu)勢,始終處于同行業(yè)地位.
公司成立以來吸收國內外*技術,研制開發(fā)的高科技新產品在國內同行業(yè)中,自行研發(fā)生產的有系列四十多種高科技產品:0.5-50L旋轉蒸發(fā)器,0.5-100L單層/雙層玻璃反應釜,磁力攪拌器,數顯恒溫油浴鍋/水浴鍋,循環(huán)水式多用真空泵,超聲波清洗器,低溫冷卻液循環(huán)泵,旋轉蒸發(fā)器,閃式提取器,閃式濃縮器,智能恒溫電熱套,多歧管冷凍干燥機,離心機,玻璃儀器氣流烘干器,二氧化碳培養(yǎng)箱/高壓滅菌鍋,真空干燥箱/生化培養(yǎng)箱/箱式馬氟爐,超聲循環(huán)提取機,自動雙重純水蒸餾器,恒溫振蕩器等儀器設備.
我公司研制生產的SHB-IIIA型不銹鋼真空泵在2005年國家211工程實驗室改造工程中被定為中標及*產品,在上海復旦大學、西安交通大學、西北大學、西安聯合大學、沈陽藥科大學、浙江大學基礎化學實驗改造中連續(xù)中標,在2006年浙江大學新校區(qū)基礎化學組建中連續(xù)中標。2009年,我公司產品已通過ISO9001:2008質量管理體系認證。
本公司擁有一支德才兼?zhèn)?,朝氣蓬勃,同心協力,頑強拼搏,并具有專業(yè)知識的員工隊伍。"求實,誠信,互惠,互利"是我們的原則,為客戶提供優(yōu)質產品和服務是我們永遠不變的追求, 西安莫吉娜愿同新老朋友,業(yè)界同仁精誠合作,共創(chuàng)輝煌!??!
學校實驗室*,中國實驗儀器的創(chuàng)新!
真金不怕火煉,品質決定檔次!