MicroCT測試模體,多年來,已經(jīng)提出了許多評估m(xù)icroCT系統(tǒng)性能的方法。通常,高分辨率的限制因素是焦點(diǎn)尺寸。這就是為什么許多測試僅依賴于從2D投影圖像確定光斑大小的原因。但是,3D中的真實(shí)空間分辨率取決于更多因素,而不僅僅是系統(tǒng)的機(jī)械精度。與持續(xù)時間相對較短的2D測試相比,所需的時間穩(wěn)定性要求更為嚴(yán)格。最后,處理和重建算法對3D可獲得的空間分辨率也有重大影響。
MicroCT的3D空間分辨率測試用——Micro-CT Bar Pattern NANO Phantom
評估3D空間分辨率的一個很好的工具是可用德國QRM GmbH獲得的Micro-CT Bar Pattern NANO Phantom 。體模包含兩個放置在正交位置的硅芯片,包圍了1至10μm的多個分辨率測試圖案。在"使用QRM公司的MN099_3D空間分辨率 "中,模體的使用以SkyScan 1272臺式高分辨率微CT為例。
可選地,ASTM E 1695-95包含基于均勻圓柱狀測試對象(例如鋁銷)的掃描的測試方法。3D空間分辨率通過調(diào)制傳遞函數(shù)進(jìn)行量化。另外,給出了確定對比靈敏度的指令。
來自QRM GmbH的Bar Pattern NANO Phantom掃描的重建切片,使用SkyScan 1276高分辨率體內(nèi)微型CT進(jìn)行了掃描,圖像像素尺寸為2.8μm。
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試技術(shù)參數(shù):
柱狀部分:
直徑:5.2 mm
總長:19.1 mm
材料:致密塑料
芯片部分:
直徑:2.96 mm
總長:0.66 mm
材料:硅
芯片上圖樣尺寸范圍:1µm至10µm
圖樣深度:5µm至15µm
對比材料:硅/空氣
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡芯片上有一個傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上,從而使用戶僅通過一次曝光和測量就可以對整個芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展,我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO!
MicroCT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡 | |
基礎(chǔ)材料: | 固體塑料(切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm) |
模體直徑: | 5.2毫米 |
高度: | 19毫米 |
硅芯片的措施: | 3 x 3 x 0.66毫米 |
芯片上的結(jié)構(gòu)(分辨率): | 分別為1至10 µm。500至50 LP / mm |
芯片材質(zhì): | 硅 |
圖案對比 | 硅/空氣 |
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