無塵烘烤箱

Class 100 Clean Ovens

一、設(shè)備用途:
      Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、產(chǎn)品特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
 

三．無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
 

1.主要技術(shù)指標：
   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： RT+20～+300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;              溫度波動度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   電源：380v , 50Hz，15KW           網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA高效過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

2、箱體結(jié)構(gòu)：
   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
   內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
   中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：
   采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。；
   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、 門面安全開關(guān)

5、選購設(shè)備(需另外收費)：
   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。