詳細技術(shù)參數(shù)
| TL1400管式爐
| 型號 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
| 功率 | 5KW | 5KW | 6KW | |
| 爐管尺寸 | 高純剛玉管:60/80/100*1000mm(管徑可選） 兩邊各放置兩個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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| 外形尺寸（LXDXH） | 610X490X800 | 610X550X850 | 610X550X850 | |
| 電源電壓 | 220V /380V | |||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 加熱元件 | 硅碳棒 | |||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1420度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | |||
| 控溫模式 | 智能PID | |||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | |||
| 過溫保護 | 有 | |||
| 過流保護 | 有 | |||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | |||
| 電器 | 浙江正泰 | |||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | |||
| 溫度 | 1400 ℃ | |||
| 額定溫度 | 1350 ℃ | |||
| 升溫速率 | ≤35 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | |||
| 推薦升溫速率 | ≤15℃/ Min | |||
| 熱電偶型號 | S型 | |||
| 加熱段長度 | 300 mm | |||
| 溫度校準(zhǔn)（選配） | 定期對管式爐進行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補償導(dǎo)線 | |||
| 電器認(rèn)證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||
| 閥門和法蘭
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 質(zhì)量流量計
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |
| 耐壓 | 3MP | |||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | |||
| 線性 | ±0.5%F.S. | |||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | |||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | |||
| 工作溫度 | 5-45℃ | |||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | |||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng)
方案一或方案二任選一個
| 電源 | 220V | ||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
| 波紋管 | KF25X1000mm | |||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達 | 10 -1Pa | |||
| 真空擋板閥 | KF25 | |||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型號 | VRD-8 | ||
| 極限分壓強 | 5X10-2 Pa | |||
| 進排氣接口 | KF25 | |||
| 電機轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | |||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | |||
| 電機功率 | 0.4KW | |||
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方案二 | 型號 | ACP15 | ||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||
| 極限壓強 | 0.02Torr | |||
| 進、排氣接口 | KF25 | |||
| 電阻真空計 （方案一） | 型號 | ZDR-1 | ||
| 功率 | 25W | |||
| 真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | |||
| 電阻硅 | ZJ-52T | |||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空 （方案二）
| 型號 | PCG554 | ||
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | |||
| 真空計接口 | KF16 | |||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | |||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||
| 重量 | 5 lbs | |||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。 | |||
| 是否防腐 | 防腐 | |||
| 響應(yīng)時間 | ≤30ms | |||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||
| 分子泵機組（選購）
（方案一或方案二任選一個） | 機組輸入電壓 | 380V /220V | ||
| 波紋管 | KF40X1000 | |||
| 真空擋板閥 | KF40 | |||
| 機箱尺寸 | 600X600X600 | |||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型號 | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 380V | |||
| 分子泵進氣口法蘭 | DN160 | |||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | |||
| 分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | |||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | |||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | |||
| 建議啟東壓強 | <100pa | |||
| 分子泵前級真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | ||
| 電壓 | 380V | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | |||
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | |||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 6 | |||
| 極限壓強 | 4X10 -2Pa | |||
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德國Pfeiffer真空泵（方案二）
| 電壓 | 220V | ||
| 功率 | 110W | |||
| 抽氣接口 | KF40 | |||
| 重量 | 150KG | |||
| 前機泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||
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復(fù)合真空計
| 復(fù)合真空計型號 | ZDF | ||
| 電源 | 220V 55W | |||
| 控制精度 | ± 1% | |||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | |||
ACP15無油多級羅茨泵
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1400管式爐+真空系統(tǒng)組成
1、加熱元件
（1）、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低，使用壽命長。
（2）、m冷端長度為210mm， 一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護碳棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接（選購）
該爐配可有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
進口爐膛 VS 國產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
4、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強。
5、爐膛表面光潔、不易掉粉。
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進口電器）
6、不銹鋼支撐架
7、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
8、認(rèn)證
管式爐標(biāo)準(zhǔn)配件
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| TL1400管式爐 | 1 套 |
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| 剛玉管 | 1根 |
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| 不銹鋼法蘭 | 1 套 |
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| 不銹鋼爐鉤 | 1 個 |
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| 氧化鋁爐塞 | 2對 |
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| 高溫手套 | 1 雙 |
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| 氧化鋁坩堝 | 1個 |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
| 485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） | 1 套 |
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| 說明書 | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1 份 | |
| 供氣系統(tǒng)
| 1臺 |  |
| 抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
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