特點:
? 高速響應時間,小于5ms避免系統(tǒng)延遲
? 高壓,壓力可以達到1250PSI
? 低泄漏率:氦泄漏速率小于1 x 10-7 cc/sec/atm 和1 x 10-8 cc/sec/atm 兩種高真空等級
? 高重復性、故障率低、堵孔幾率和攜帶污染率低
? 耐腐蝕性316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
? 采用美國杜邦的Vespel密封
? 體積小,內(nèi)部容積小
應用:
?生命科學分析儀器、臨床分析儀器、化學分析儀器。例如質(zhì)譜、催化劑表征儀器。
?高真空設備,實驗設備