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HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2023/11/9 10:54:06
  • 訪問次數(shù)171
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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        成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械以及成套工程技術(shù)和高級(jí)管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊(duì)伍和高級(jí)管理人材。其中包括有教授級(jí)高工、微波和電氣高級(jí)工程師、獲得美國MBA的高級(jí)經(jīng)濟(jì)師、工程師、高級(jí)技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀等完善的測試手段,計(jì)算機(jī)CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)以及必要的工藝和機(jī)械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設(shè)計(jì)、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術(shù)和理念直接引進(jìn)國內(nèi),并經(jīng)過十余年堅(jiān)持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域以及微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位,并已與國內(nèi)近百家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽(yù)。
 

微波設(shè)備
HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及其設(shè)備生產(chǎn)、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學(xué)、南京大學(xué)、四川大學(xué)等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺(tái)MPCVD設(shè)備,憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務(wù),公司獲得用戶廣泛認(rèn)可和好評(píng)。
HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
性能特點(diǎn)

微波功率容量大、功率密度高;

沉積面積大、速率快、質(zhì)量高;

安全可靠,滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運(yùn)行;

第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源,新型下饋式大容積碟形放電工作腔;

微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào),穩(wěn)定度1%;

放電區(qū)Φ≥100mm;均勻沉積區(qū)Φ≥75mm;

工作氣體:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

極限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作壓力:0.1~30kPa;自動(dòng)控制;

紅外測溫:600~1800℃(雙色);

PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動(dòng)控制。

技術(shù)指標(biāo)
(1) 產(chǎn)品 HMPS-2120SP
(2) 微波源 12kW/2450MHz固態(tài)功率源
(3) 微波傳輸及耦合系統(tǒng) BJ-22/環(huán)行器/水負(fù)載/銷釘/模式變換器耦合等
(4) 等離子放電工作腔及基片臺(tái)系統(tǒng) Φ500同軸耦合蝶形腔,Φ100mm基片臺(tái)
(5) 真空系統(tǒng) 600l/s分子泵、8l/s雙級(jí)直聯(lián)泵、進(jìn)口真空測量規(guī)管
(6) 氣體MFC系統(tǒng) 進(jìn)口4(5)路質(zhì)量流量計(jì),過濾器、EP-1/4’VCR接頭及管
(7) 測溫及基片臺(tái)冷卻 進(jìn)口(雙色)紅外測溫,進(jìn)口水溫度流量傳感器
(8) 控制系統(tǒng) PLC及觸摸屏多參數(shù)自動(dòng)控制操作

關(guān)鍵詞:過濾器 傳感器
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