◆微波功率容量大、功率密度高;
◆沉積面積大、速率快、質(zhì)量高;
◆安全可靠,滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運(yùn)行;
◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源,新型下饋式大容積碟形放電工作腔;
◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào),穩(wěn)定度1%;
◆放電區(qū)Φ≥100mm;均勻沉積區(qū)Φ≥75mm;
◆工作氣體:H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar;
◆極限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;
◆工作壓力:0.1~30kPa;自動(dòng)控制;
◆紅外測溫:600~1800℃(雙色);
◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動(dòng)控制。
(1) | 產(chǎn)品 | HMPS-2120SP |
(2) | 微波源 | 12kW/2450MHz固態(tài)功率源 |
(3) | 微波傳輸及耦合系統(tǒng) | BJ-22/環(huán)行器/水負(fù)載/銷釘/模式變換器耦合等 |
(4) | 等離子放電工作腔及基片臺(tái)系統(tǒng) | Φ500同軸耦合蝶形腔,Φ100mm基片臺(tái) |
(5) | 真空系統(tǒng) | 600l/s分子泵、8l/s雙級(jí)直聯(lián)泵、進(jìn)口真空測量規(guī)管 |
(6) | 氣體MFC系統(tǒng) | 進(jìn)口4(5)路質(zhì)量流量計(jì),過濾器、EP-1/4’VCR接頭及管 |
(7) | 測溫及基片臺(tái)冷卻 | 進(jìn)口(雙色)紅外測溫,進(jìn)口水溫度流量傳感器 |
(8) | 控制系統(tǒng) | PLC及觸摸屏多參數(shù)自動(dòng)控制操作 |