氣墊精密光學(xué)平臺 主要特點:利用蜂窩結(jié)構(gòu)達到隔振效。隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離,在各個方向上都提供了優(yōu)異的減振性能,減振器自身振動頻率低。使隔振效果達到較 佳。
氣墊精密光學(xué)平臺 外形尺寸:
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
平臺性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
M6安裝螺孔間距25×25mm或50×50mm
平臺表面材質(zhì)采用高導(dǎo)磁不銹鋼板面