本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
■ 單晶硅烘箱箱體結(jié)構(gòu): 設(shè)計(jì),箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
■ 單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表; Pt100鉑電阻測(cè)溫傳感器
■ 單晶硅烘箱保護(hù)系統(tǒng): 整機(jī)保護(hù)系統(tǒng)由超溫保護(hù)及報(bào)警裝置構(gòu)成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好