晶圓切割3D形貌檢測機(jī)應(yīng)用
(1)崩邊檢測
(2)溝槽深度掃描測量
(3)線條圖形掃描寬度提取
(4)測試位置可以自定義
晶圓切割3D形貌檢測機(jī)樣品測試數(shù)據(jù)
(1)槽深測量
(2)槽寬測量
(3)四個(gè)位置的測量結(jié)果
晶圓切割3D形貌檢測機(jī)樣品測試小結(jié)
(1)隨機(jī)選取四個(gè)鐳射槽的槽寬在53.4~57.7μm,槽深在20.9~25.9μm
(2)測量四個(gè)位置自動化所需時(shí)間約為2min
槽內(nèi)干涉條紋圖 | 表面干涉條紋圖 |
樣品三維圖