MH400-IR近紅外顯微鏡光源是不可見——光紅外線,它是能穿透1mm以內(nèi)硅材料,主要用于半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于芯片隱裂、倒裝芯片、MEMS器件等無損檢測(cè)。
MH400-IR近紅外顯微鏡基本配置
1、顯微鏡機(jī)架:含前置底位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)
2、照明器:帶視場(chǎng)光闌和孔徑光闌
3、紅外觀察筒:含紅外相機(jī)接筒
4、紅外燈箱:12V100W鹵素?zé)?/p>
5、紅外物鏡
Olympus LMPLN5XIR:5X/0.10 ,W.D. 23;
Olympus LMPLN10XIR:10X/0.30, W.D.23;
Olympus LCPLN20XIR:20X/0.45, W.D.8.3,帶校正環(huán);
Olympus LCPLN50XIR:50X/0.65, W.D.4.5,帶校正環(huán)。
6、物鏡轉(zhuǎn)換器:5孔手動(dòng)(可選配電動(dòng))。
7、IR400近紅外相機(jī)
●大靶面,1/2英寸靶面;
●高分辨率:2048×2048,420萬像素,
●含拍照、測(cè)量軟件
●真實(shí)色彩還原:所見即所得級(jí)別的色彩還原,ΔE<3;
●低噪聲,高靈敏度:低至2e-讀出噪聲;
●深度制冷:二級(jí)TEC制冷,可達(dá)環(huán)境溫度以下10°C;
●獨(dú)立密封艙設(shè)計(jì):有效防止相機(jī)長(zhǎng)時(shí)間低溫工作時(shí)出現(xiàn)結(jié)露;
●內(nèi)置大容量圖像緩存:2Gb圖像緩存,確保傳輸穩(wěn)定性。
8、紅外截止片:1100nm
9、載物臺(tái)
移動(dòng)行程X*Y:12*12英寸
10、晶圓轉(zhuǎn)盤:選配
11、電腦:品牌臺(tái)式機(jī),I5處理器/8G內(nèi)存/480G固態(tài)硬盤/21.5寸LCD
應(yīng)用案例圖片
CSP/SIP的非破壞檢查
Vcsel芯片隱裂(cracks)
die chip 失效分析
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