桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀
本小型蒸發(fā)鍍膜儀可進行真空蒸鍍,在對樣品進行蒸發(fā)鍍膜的過程中,樣品臺可進行旋轉(zhuǎn),以獲得更均勻的薄膜。鍍膜電流*大可達60A,本型號的小型蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用范圍廣,可制備各種金屬薄膜和部分非金屬薄膜,因此被廣泛用于電極的制備和有機物發(fā)光LED的制備。設(shè)備配有兩套蒸發(fā)源,可以通過擋板切換,實現(xiàn)對樣品的多層鍍膜。儀器體積小巧,可有效節(jié)約實驗室空間;操作簡單,對不同材料的適應(yīng)性強,十分適合實驗室選購。
產(chǎn)品特點
1. 樣品臺可以旋轉(zhuǎn),鍍膜效果能夠更加均勻;
2. 采用鎢絲籃為發(fā)熱源,*高溫度可達到1700℃;
3. 可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
4. 進氣口配有針閥,用于調(diào)節(jié)進氣流量。
5. 雙蒸法源,可以實現(xiàn)多層鍍膜。
技術(shù)參數(shù)
項目 | 明細 |
產(chǎn)品型號 | CY-EVP180G-2S-LV (2 Source) |
供電電壓 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 1200W |
蒸發(fā)源數(shù)量 | 2x鎢絲籃 |
樣品臺 | 直徑φ65mm; 可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0-20rpm; 與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
真空腔體 | 材質(zhì):高純石英 φ180mm x 210mm |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | B型熱電偶 |
真空計 | 電阻式真空計 |
真空接口 | KF16 |
進氣接口 | 1/4NPS |
整機尺寸 | 500x350x400mm |