FS4000是廣州紋徠儀器儀表有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通 徑 | 3 | 8 | mm |
流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.75 | % | |
零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時(shí)間 | 100 | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA | ||
輸出方式 | 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
流量壓損 | 100 | 600 | pa |
工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲(chǔ)溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) | ||
機(jī)械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
校準(zhǔn)方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa | ||
重量 | 57(帶R1/4,BSPT1/4接口) 71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭) | g |