VHP-5T-4是一款電動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī)，針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為100mm x 100mm。儀器工作溫度為500℃，在此溫度下可對(duì)樣品實(shí)加的壓力為6T。
技術(shù)參數(shù)
| 結(jié)構(gòu) | - 兩塊150mm x150mm加熱平臺(tái)，采用高溫合金鋼制成，可承受溫度為500℃
- 1000W的加熱管嵌在加熱平臺(tái)的中間，以達(dá)到快速加熱的效果
- 兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái)，可設(shè)置30段升降溫程序
- 水冷管設(shè)計(jì)在加熱平臺(tái)的頂端，以達(dá)到快速冷卻的效果
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| 液壓泵 | - 20T的電動(dòng)液壓機(jī)與真空腔體相連接
- 兩個(gè)加熱平臺(tái)之間的可移動(dòng)距離為15mm
- 自動(dòng)壓力控制并帶有數(shù)顯壓力顯示
- 壓力控制精度為+/-0.01 Mpa( 0.1 kg/cm2 )
- 兩個(gè)加熱平臺(tái)工作溫度為500℃，加熱平臺(tái)頂端安裝有冷卻水管。當(dāng)工作溫度高于200℃時(shí)，請(qǐng)注入冷卻水（>15L/min）
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| 溫控系統(tǒng)和壓力顯示 | - 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，期控溫精度為+/1℃，分別獨(dú)立控制兩個(gè)加熱平臺(tái)。
- 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)。
- 工作溫度為500℃。
- 升溫速率：< 10℃
- 軟件和PC接口安裝在控溫儀表上，可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中。
- 數(shù)字壓力顯示器（控制器）安裝在真空腔體外，可設(shè)置其壓力，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值時(shí)電機(jī)將自動(dòng)停止。
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| 真空腔體 | - 電動(dòng)液壓裝置和加熱臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi)。
- 真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形），真空度可以達(dá)到10E-3 torr。
- 內(nèi)部腔體尺寸為：372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
- 真空腔體前端有一直徑為150mm的觀察窗口
- 一個(gè)高靈敏度的真空計(jì)安裝在真空腔體上，測(cè)量?jī)?nèi)部的真空度
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| 電源 | 功率:2500W 電源： 208 - 240VAC, 50/60 Hz 單相 |
| 外形尺寸 | 600mm(L) x 500mm(W) x 400mm(H) |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) |
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