GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
| 爐體結(jié)構(gòu)
| - 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃
- 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長爐膛的使用壽命
- 三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
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| 功率 | 9 KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
| 電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
| 加熱區(qū) | - 總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm)
- 加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃
- 升溫速率: 10°C/min
- 加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，溫度可達(dá)1700℃
- 升溫速率: 5°C/min
- 加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃
- 升溫速率: 10°C/min
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| 爐管和法蘭尺寸 | - 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
- 尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length
- 一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表
- 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵
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| 溫控系統(tǒng) | - 3個(gè)溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫
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| 控溫精確度 | +/-1°C |
| 低真空系統(tǒng) | - 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到 10-2 Torr.
- 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
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| 數(shù)字式真空顯示計(jì) | CE認(rèn)證的皮拉尼式數(shù)顯真空計(jì)，帶有LED數(shù)字式顯示，其量程為10-4 to 1000 Torr. |
| 三路浮子混氣系統(tǒng) | - 3個(gè)浮子流量計(jì)（精確度4%FS）安裝在一個(gè)移動架上，可以推動，可同時(shí)混入三種不同氣體。
- 路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
- 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
- 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
- 一個(gè)壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接
- 移動架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥
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| 尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
| 質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified |
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