直讀光譜儀專用氬氣凈化機(jī)
凈化原理
該系列凈化機(jī)利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應(yīng)生成二氧化碳,從而除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣,再利用吸附劑吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì),即可得到高純氬氣。
氬氣凈化機(jī)的技術(shù)參數(shù)
對(duì)原料氬氣要求
一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣。
雜質(zhì)要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣
純度:99.9998%
雜質(zhì)含量:
O2≤0.5PPm,
H2O≤1PPm(即露點(diǎn)≤-76℃),
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升。
工作壓力:0.4-1.5MPa。
處理氣量:4NM3/h(其余流量需要定制)。
設(shè)備特點(diǎn)
1) 催化劑活性高,凈化后的氣體純度高。
2) 雙式結(jié)構(gòu),一組工作另一組再生備用,故能長期連續(xù)供氣。
3) 采用本機(jī)純氣吹掃的再生流程,再生不用氫,故不需專用機(jī)房,安全性好。
4) 對(duì)再生具有自動(dòng)功能,操作更簡單,并且不易出錯(cuò),性能也更穩(wěn)定可靠。
5) 克服了偶爾會(huì)產(chǎn)生“假斷偶保護(hù)”使再生不能進(jìn)行的缺點(diǎn)。
6) 系統(tǒng)采用零泄露的波紋管閥門而不是故障率和泄漏量都較大的電磁閥,設(shè)備的可靠性更高。
7) 設(shè)備自帶緩沖罐,輸出氣體純度、壓力更穩(wěn)定,更適合光譜儀使用。