性能參數(shù)
大氣壓 | 70~106 |
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工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移µm(rms) | 2.9 |
主過濾器類別 | ULPA |
人員保護(hù) | 1~2 |
主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
下降氣流速度(m/s) | 0.28 |
流入氣流速度(m/s) | 0.55 |
電源參數(shù)
頻率 | 50Hz±1Hz |
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耗電量
噪音
規(guī)格
工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
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腳輪 | 有 |
功能參數(shù)
過濾器阻塞報(bào)警 | 有 |
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過濾器破損報(bào)警 | 有 |
前窗玻璃防紫外線 | 有 |