產(chǎn)品概述
科研級(jí)明暗場(chǎng)正置金相顯微鏡XJ-54C用于觀察材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等分析研究。是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)等觀察研究的理想儀器??偡糯蟊稊?shù):50X-500X
◆性能特點(diǎn):
1、采用了無(wú)限遠(yuǎn)光路設(shè)計(jì)
2、配置了偏光、暗場(chǎng)裝置、可選配微分干涉裝置,拓展了功能。
3、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺(tái),適合大工件的檢查。
4、采用大視野目鏡和明暗場(chǎng)長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡,視場(chǎng)平坦,成像清晰。
5、整機(jī)采用了防霉處理,保護(hù)了鏡頭,延長(zhǎng)了儀器的使用壽命。
6、兩路光路自由切換輸出,一路用于觀察,一路連接攝像裝置。
◆典型應(yīng)用:
1、電子工業(yè)制造業(yè)對(duì)硅片、電路基板、FPD、PCB板、芯片檢驗(yàn)。
2、觀察材料表面的某些特性,3、分析金屬、礦相內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織。
規(guī)格參數(shù)
一、顯微鏡參數(shù):
序號(hào) | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
01 | 平場(chǎng)目鏡 | 大視野WF10XΦ25mm |
02 | 明暗場(chǎng)平場(chǎng)物鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn) PLL5X/0.10、 PLL10X/0.25、 PLL20X/0.40、PLL40X/0.60、 PLL50×/0.55 |
03 | 總放大倍數(shù) | 50X-500X |
04 | 觀察頭 | 鉸鏈?zhǔn)饺?30°傾斜 |
05 | 轉(zhuǎn)換器 | 五孔帶DIC、明暗場(chǎng)插孔 |
06 | 粗調(diào)調(diào)焦范圍 | 30mm,粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位, 微動(dòng)格值0.002mm |
07 | 載物臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) 尺寸350X310mm 移動(dòng)范圍: 250X250mm 玻璃平臺(tái):尺寸268×198mm 移動(dòng)范圍:250×250mm 具有快速手推功能,可實(shí)現(xiàn)快速到位 |
08 | 偏光裝置 | 檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
09 | 暗場(chǎng)裝置 | DIC、暗場(chǎng)插件均可移出光路 |
10 | 落射照明系統(tǒng) | 鹵鎢燈12V100W 寬電壓AC 85-230輸入。落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄 |
11 | 儀器重量 | 凈重35.0公斤 毛重40kg |
12 | 儀器尺寸 | 儀器尺寸40X50X47(cm) 包裝尺寸59X49X53 (cm) |
二、目鏡參數(shù):
型號(hào) T ype | 放大倍率 Magnification | 視場(chǎng)直徑(mm) F.O.V | 外徑(mm) Tube diameter |
WF10X/25 | 10X | Φ25 | Φ30.2 |
三、物鏡參數(shù):
放大倍率 Magnification | 數(shù)值孔徑 N.A | 分辨率 R(μm) | 工作距離WD(mm) | 共軛距離Conjugate(mm) | 齊焦距離Parfocus(mm) | 蓋玻片厚度CoverGlass(mm) |
5X | 0.12 | 2.30 | 29.4 | ∞ | 45 | 0 |
10X | 0.25 | 1.10 | 16.0 | ∞ | 45 | 0 |
20X | 0.40 | 0.70 | 8.80 | ∞ | 45 | 0 |
40X | 0.60 | 0.55 | 5.40 | ∞ | 45 | 0 |
50X | 0.55 | 0.40 | 5.10 | ∞ | 45 | 0 |