產(chǎn)品概述
科研級明暗場正置金相顯微鏡XJ-58C適用于薄片試樣的金相、礦相、晶體、硅片、電路基板、FPD等結(jié)構(gòu)分析和研究,或用于觀察材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等分析研究。是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)等觀察研究的理想儀器??偡糯蟊稊?shù):50X-500X
◆性能特點(diǎn):
1、采用了無限遠(yuǎn)光路設(shè)計(jì)。
2、配置了偏光、暗場裝置、可選配微分干涉裝置,拓展了功能。
3、系統(tǒng)配置了電動調(diào)焦載物臺,高清相位模塊、高亮度LED照明。
4、采用大視野目鏡和明暗場長距平場物鏡,視場平坦,成像清晰。
5、整機(jī)采用了防霉處理,保護(hù)了鏡頭,延長了儀器的使用壽命。
6、兩路光路自由切換輸出,一路用于觀察,一路連接攝像裝置。
◆典型應(yīng)用:
1、電子工業(yè)制造業(yè)對硅片、電路基板、FPD、PCB板、芯片檢驗(yàn)。
2、觀察材料表面的某些特性,3、分析金屬、礦相內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織
規(guī)格參數(shù)
序號 | 名 稱 | 參數(shù) |
01 | 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),鏡筒透鏡f=200mm |
02 | 觀察鏡筒 | 三目鏡筒(帶有0.3XCCD適配鏡) |
03 | 目 鏡 | 1、超寬視場平場目鏡WF10X/26mm2、WF10X/22mm,帶0.1mm十字分劃板 |
04 | 超長工作距離平場無限遠(yuǎn)明/暗場物鏡: | 5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、20X/NA0.40(W.D=10.5mm)、50X/NA0.55(W.D=5.1mm) |
05 | 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔的五孔轉(zhuǎn)換器 |
06 | 載物臺 | 精密測量平臺,工作臺尺寸:150X150mm 移動范圍50mmX50mm, |
07 | 濾色片 | 濾色片(綠、藍(lán)、中性) |
08 | 調(diào)焦 | 電動調(diào)焦 |
09 | 光源 | 透射照明: LED燈5W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào) 反射照明:科勒照明鹵素?zé)?2V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調(diào),帶孔徑光闌和視場光闌 |
10 | 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
11 | 檢測工具 | 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)尺:0.01mm測微尺 |