setra西特227超高純壓力傳感器精密壓力測量

setra西特227超高純壓力傳感器精密壓力測量

                                                         setra西特227超高純壓力傳感器精密壓力測量

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表壓、復合壓、絕壓可選
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PSI或BAR量程可選
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11/8"下法蘭安裝
Setra   的227型傳感器專用于當今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設計使
其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經質譜儀進行過高達1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉顯示器，該產品包達到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該*設計包括在旋轉保護蓋下面的側接近至零點及范圍調節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復合壓。
Setra   獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
變圓，從而增加了電容。通過Setra   *的定制集成電路檢測電容值的變化，并
利用獲専利的電荷平衡原理將其轉換成高度精準的線性DC電信號。
Setra   的整個超高純系列均基于Setra   的被廣泛認可的電容傳感技術，高度精準和
穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI）。
應用
●模塊式1-1/8"氣體棒和面板
●高純氣體傳輸系統(tǒng)
●半導體工藝工具
好處
■出色的穩(wěn)定性，可避免停機
■抗EMI/RFI功能防止假停機
■符合CE標準
UltraHighPurity(超高純應用壓力傳感器)
我們提供所有Setra   產品的應用幫助，其中包括人員幫助和文獻幫助，
而客戶有責任確定該產品的適用性。
227型的技術規(guī)格
性能數據
jing確RSS*（恒定溫度下）讀數±1.0%或±0.25%全量程
非線性，BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復性0.02%全量程
熱效應**
補償范圍oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零點漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范圍漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加熱漂移0.1%全量程
**在額定70oF下校驗過的設備。
根據此數據而計算的zui大溫度誤差。
環(huán)境數據
溫度
工作溫度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
儲存溫度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
*工作溫度僅是電子設備的溫度Ji限。
受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接182.88cm.多芯電纜，Bayonet
連接器或D-型連接器
壓力接頭下安裝“C”型密封
通風通過零點和范圍接近孔
重量6.5oz（184g）
電氣數據（電壓）
電路3根導線（Exc、Out、Com）
激勵10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
*校準精度為50Kohm負荷，可操作5000ohm或更大的負荷。
**零點輸出的出廠設置在±25mV之內（限5VDC輸出）
或±50mV（限10VDC輸出）。
**范圍（全量程）輸出的出廠設置在±25mV之內
（限5VDC輸出）或±50mV（限10VDC輸出）。
電氣數據（電流）
電路2根導線
輸出*4至20mA**
外部負荷0至800Ohm
zui大電源電壓（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji導線的電阻）。
zui大電源電壓（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji導線的電阻）。
*出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負荷，進行校準。
**零點輸出的出廠設置在±0.08mA之內。
**范圍（全量程）輸出的出廠設置在±0.08mA之內。
壓力媒介
與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。
產品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。
外形圖
2.71
68.83
傳感器范圍及零點調節(jié)
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
?1.05
?26.67
1.23
31.24
15針D型
3.66
92.96
小排量傳感器艙
?1.00
?25.4
?0.86
?21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
?0.19
?4.83
安裝孔
in
mm
2271E5
型號范圍壓力壓力接頭輸出電氣終端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=絕隊壓
C=復合壓
G=表壓
E5=下安裝“C”型密封
（1.125”底座）
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.多芯電纜
B1=4引腳Bayonet接頭
D9=9針D型接頭
D1=15針D型接頭
M1=5針微型DIN接頭
F=±0.25%全量
程（有檢定證
書）
J=±1.0%讀數
（有檢定證書）
訂購信息
寫出表格內所有方框內的代碼。
示例量程0至100PSIG，下安裝“C”型密封法蘭，輸出4-20mA，15針D連接器，讀數精度為±0.25%全量程的217型變送器，
其零件號為2271100PGE511D1F。