濺射薄膜壓力傳感器
PTG200濺射薄膜壓力傳感器其利用離子束濺射薄膜技術結合*的微電子工藝技術制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在電阻合金材料上,在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應變電阻,膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發(fā)生改變,電橋輸出相應電信號。薄膜應變電阻與彈性體“融”為一體,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和緊固件, 可*在-40~125℃工作溫度下穩(wěn)定工作。
應用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機械、汽車制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫(yī)療設備、食品加工等多種自控和測量行業(yè)。
主要技術參數(shù):
被測介質(zhì): 氣體,液體及蒸氣
壓力類型: 表壓、絕壓
量程: 0 - 0.6~120 Mpa間任意可選
輸出 :1.2~1.8 mv/V
綜合精度: ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非線性: 0.06~0.1%FS
遲滯: 0.02~0.05%FS
重復性: 0.03~0.06%FS
零點溫漂: ±0.01%FS/℃
靈敏度溫漂: ±0.02%FS/℃
供電: 5~15V DC
輸出阻抗: 1.5~3KΩ
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
工作溫度: -40~+85\125\150℃可選
過載能力: 150%FS
電氣連接: 高溫引出線
壓力連接: M10×1雙"O"圈密封或用戶
接液材料 膜片:17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti
相對濕度: 0~95% RH
密封等級 :IP65