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美國 KRI 射頻離子源 RFICP 系列

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱伯東企業(yè)(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2021/10/6 17:05:19
  • 訪問次數(shù)307
產(chǎn)品標簽:

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伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界水平的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含:德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機,美國HVA 真空閥門,美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機,離子蝕刻機,真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為真空品牌**代理商,全權(quán)負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù),* 使用原廠進口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師;擁有*的拆解,維修,校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

高低溫沖擊試驗箱,分子泵,原子力顯微鏡,包裝膠盒
上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.離子束流: 100 mA~1500mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.離子源采用模塊化設(shè)計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ ......
美國 KRI 射頻離子源 RFICP 系列 產(chǎn)品信息

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 系列 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源 RFICP 系列技術(shù)參數(shù):

型號

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

Discharge

RFICP 射頻

RFICP 射頻

RFICP 射頻

RFICP 射頻

RFICP 射頻

離子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

柵極直徑

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

20 cm Φ

30 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

3-10 sccm

5-30 sccm

5-30 sccm

10-40 sccm

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

長度

12.7 cm

23.5 cm

24.6 cm

30 cm

39 cm

直徑

13.5 cm

19.1 cm

24.6 cm

41 cm

59 cm

中和器

LFN 2000

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