RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀
RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
測(cè)量范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式設(shè)計(jì);
體積僅為:185mm(長(zhǎng))*90mm(寬)*30mm(高); 重量:350g;
使用鋰電池供電,一次充電可連續(xù)使用100小時(shí);
RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀就是參數(shù)
測(cè)量范圍 | 電阻率:0.01~1999.9Ω.cm; |
恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔,兩檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 185mm(長(zhǎng))*90mm(寬)*30mm(高) |
重量 | 350g |
電源 | 鋰電池,一次充電可連續(xù)使用100小時(shí); |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)高頻干擾; 無(wú)強(qiáng)光直射; |