度盤(pán)應(yīng)力儀WYL-3參數(shù):
應(yīng)力測(cè)量范圍:560nm(一級(jí)干涉光)以下;
定性位置:全波長(zhǎng)光程差560nm;
檢偏鏡通光口徑:直徑150mm;
臺(tái)面玻璃通光口徑:直徑220mm;
可測(cè)量樣品高度:250mm;
定性位置:應(yīng)力測(cè)量范圍:280nm(一級(jí)干涉光)以下:
分辨率:0.2nm
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