日本電子JEOL場發(fā)射掃描電鏡 JSM-IT800SHL, 是JSM-7900F 的升級版
JSM-IT800SHL 是日本電子株式會社（JEOL） 2020 年推出的場發(fā)射掃描電鏡，它秉承 JEOL 熱場發(fā)射掃描電鏡 JSM-7900F 的大束流，高穩(wěn)定性的傳統(tǒng)，同時將分辨率提高到新的極限，全新設(shè)計的超級混合型物鏡，高分辨率的獲得以及磁性樣品的觀察都可以同時完成，而且標(biāo)配 JEOL 開發(fā)的 NEO Engine，使得任何人都可以操作該設(shè)備得到高質(zhì)量的圖像，是一款非常適合材料分析研究的設(shè)備。
JSM-IT800SHL 場發(fā)射掃描電鏡主要特點
。超高分辨圖像的觀察，放大倍數(shù) 3 百萬倍
0.5nm (二次電子,加速電壓：15kV)
0.7nm (二次電子,GB 模式，加速電壓：1kV) 突出的低壓分辨率
。加速電壓： 0.01kV~30.0kV, 可以到 10V，仍然可以得到高分辨率圖像。
。高穩(wěn)定的大束流強度：
日本電子的 JSM-IT800SHL 熱場電子槍浸沒在聚光鏡上半部，發(fā)射出的電子束可以全部進(jìn)入聚光鏡，使得分析束流從 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA，能譜、波譜等分析效率效果明顯改善。與此同時，濺射出的污染明顯減少，槍的壽命大幅度延長。分子泵系統(tǒng)：真空系統(tǒng)潔凈，抽氣速度快，維護(hù)簡單。
。大束流下保持高分辨率
小束流觀察時，容易得到小束斑，保證高分辨率。提高束流，束斑尺寸不容易維持，分辨率衰減較快，這也是早期熱場電鏡無法取得高分辨率的原因。日本電子的 JSM-IT800SHL 在物鏡光闌下端多設(shè)計了一級磁透鏡（光闌角控制透鏡 ACL），可以對電子束進(jìn)行優(yōu)化，得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很難獲得圖像的情況改進(jìn)到束流 500nA 下依然圖像清晰，從根本上解決了大分析束流與高分辨率圖像并存的難題。同時給出了一個分析模式下的分辨率保證值，這是其他廠家無法保證的。
。開發(fā)的超級混合式物鏡：應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，可以直接做磁性樣品，無需任何模式切換
。 NEO Engine：全新開發(fā)的 NEO Engine 優(yōu)化系統(tǒng)，可以簡單一鍵自動聚焦合軸，無需任何操作基礎(chǔ)，輕松可以達(dá)到高倍下一鍵聚焦，使得該設(shè)備的易用性達(dá)到了新的高度。
。五軸馬達(dá)樣品臺標(biāo)準(zhǔn)控制：使用極為方便；
?？旖莸碾p換樣方式：利用 JSM-IT800SHL 的標(biāo)準(zhǔn)配置氣鎖加大開門設(shè)計，即可裝入直徑為170mm 樣品，氣鎖換樣速度快污染小，同時支持側(cè)面大開門換樣，這樣對于大樣品和特種附件的安裝就更加方便；
。 新型探測器：Inlens 探頭 UHD 探頭可以高信噪比的進(jìn)行二次電子成像。對于表面精細(xì)結(jié)構(gòu)更加靈敏，同時適合斷口樣品分析。
。浸沒式熱場發(fā)射電子槍（）：束流穩(wěn)定性高，電子槍壽命超長，質(zhì)保期為 3 年。
。光闌角控制透鏡（）：無須手動切換光闌，束流大小*由計算機自動控制；
。離子泵的電源支持：停電后最長可以堅持 14 天，電池更換每次只需 200 元左右。
。良好的可操作性：控制界面設(shè)計非常友好，使用極為便利；
。穩(wěn)定的 GB 模式：標(biāo)準(zhǔn)配置?？梢杂行б种瞥潆姾吞岣叩碗妷合碌姆直媛?)；
。一體化能譜分析：配合一體化能譜儀（EDS）分析時，可以實時顯示圖像和成分信息，無需模式切換。
。超長的發(fā)射體壽命: 由于采用 In-Lens 技術(shù)，我們的束流強度可以達(dá)到 500nA，其他廠家只能做到 20nA.我們在做成分分析時，或搭載 EBSD 或 WDS 時，分析速度和結(jié)果的精確度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于他們。采用了 In-Lens 電子槍技術(shù)和的氣鎖換樣系統(tǒng)，我們的發(fā)射體質(zhì)保 3 年，用戶一般使用在 6 年以上，而其他廠家只能提供質(zhì)保 1 年的承諾。
。優(yōu)秀的技術(shù)支持和售后服務(wù)體系：日本電子株式會社在中國建立獨立的維修站已經(jīng)超過 20 年，擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)工程師（包括常駐的外國工程師）60 多人，反應(yīng)快，技術(shù)力量強。
JSM-IT800SHL 場發(fā)射掃描電鏡系統(tǒng)主要性能參數(shù)
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