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反應(yīng)離子束刻蝕

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱南京盈波光電科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/7/28 12:36:00
  • 訪問次數(shù)441
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南京盈波光電科技有限公司依托國(guó)內(nèi)科研院所技術(shù),致力于高品質(zhì)的光電儀器研發(fā),并提供以客戶為導(dǎo)向的光學(xué)儀器和解決方案。創(chuàng)始人劉教授入選南京321人才計(jì)劃。公司主營(yíng)全元素快速檢測(cè)分析儀、光譜儀、激光器、光學(xué)機(jī)械,以及各類光電系統(tǒng)和軟件的訂制服務(wù)。在此基礎(chǔ)上還可以服務(wù)于基礎(chǔ)教學(xué),訂制教學(xué)儀器系統(tǒng)。
光學(xué)平臺(tái)
反應(yīng)離子束刻蝕
反應(yīng)離子束刻蝕 產(chǎn)品信息

反應(yīng)離子束刻蝕


型號(hào):NRE-4000

廠家:美國(guó)Nanomaster公司
技術(shù)指標(biāo):
  反應(yīng)氣體:O2, Ar, CF4,CHF3,SF6
 RF功率:600W 
 電極尺寸:240mm
 刻蝕材料:氧化物、半導(dǎo)體、金屬等
 晶片尺寸:6英寸
主要功能及應(yīng)用范圍
    用于各種材料的離子束反應(yīng)刻蝕,輔助形成微/納結(jié)構(gòu)。可用于各種微納器件與結(jié)構(gòu)的制作,如:微納電子器件,光電子器件,生物傳感器,微納機(jī)電系統(tǒng),超導(dǎo)電子學(xué)器件,磁電子學(xué)器件等,也是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要輔助工具。
 

 

關(guān)鍵詞:傳感器
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