SENDURO 全自動光譜橢偏儀,
SENDURO 全自動光譜橢偏儀包括基于測量處方的僅在幾秒鐘內(nèi)即可完成的快速數(shù)據(jù)分析。橢圓儀的設(shè)計是為了便于操作:放置樣品,自動樣品對準,自動測量和分析結(jié)果。在全自動模式下使用光譜橢偏儀非常適合于質(zhì)量控制和研發(fā)中的常規(guī)應(yīng)用。
自動對準
光譜橢偏儀SENDURO® 所*的全自動光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動地對準樣品的麻煩,這對于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必需的。該的自動對準傳感器大大減少了操作誤差,適用于透明和反射樣品,即使在彎曲的樣品上也可實現(xiàn)自動掃描。
操作簡單
配方模式非常適合于生產(chǎn),工藝監(jiān)控以及研發(fā)的常規(guī)應(yīng)用。該光譜橢偏儀帶有隨機可的配方數(shù)據(jù)庫,可以根據(jù)您的具體需要對其進行修改。
步進掃描分析器
步進掃描分析器SSA是SENTECH光譜橢偏技術(shù)的一個特征。分析樣品的總時間只需幾秒鐘。
SENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動掃描則實現(xiàn)了較高的樣品速度,化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動掃描具有預(yù)定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統(tǒng)計特性和數(shù)據(jù)圖形顯示。
SENDURO® 是SENTECH自動化,占地面積小,設(shè)計緊湊的橢偏儀的代表。測量臺包括橢偏儀光學(xué)部件、自動傾斜和高度傳感器、電動樣品臺和控制器電子設(shè)備,它們?nèi)烤o湊的組合。為了達到更高產(chǎn)量的要求,我們的光譜橢偏儀也提供了片盒站裝載尺寸到300 mm的大晶片。
SENDURO® 以其高樣品測量速度,易于操作和自動對準在工業(yè)應(yīng)用中表現(xiàn)出色。應(yīng)用范圍從半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜到玻璃上的多層光學(xué)涂層。
SENDURO® 優(yōu)異的光譜橢偏軟件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重復(fù)應(yīng)用程序的簡單執(zhí)行。密碼控制的用戶登錄允許不同級別的用戶登錄。在交互模式下,橢偏測量通過交互式的,指導(dǎo)性的圖形用戶界面得到增強。此外,可以使用材料數(shù)據(jù)庫和散射模型修改已經(jīng)存在的配方或建立新的配方。