美國(guó)UVOCS UVO?紫外臭氧清洗機(jī)T10x10/OES,T16x16/OES
紫外臭氧清洗,去除無(wú)機(jī)基 材料(如:石英、硅片、金、鎳、 鋁、砷化鎵,氧化鋁等)上的有 機(jī)污染物;特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí),紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表 面,只需在傳統(tǒng)清洗之后,再用 紫外臭氧清洗幾分鐘就可以。
不銹鋼結(jié)構(gòu)箱體
應(yīng)用說(shuō)明
• 表面的原子級(jí)清洗
•去除有機(jī)分子
•紫外光固化、表面化學(xué)改性
•聚合物粘接、金屬粘結(jié)準(zhǔn)備
•微流控制作、微米/納米構(gòu)型
•表面殺菌、表面氧化
•釋放捕獲的無(wú)機(jī)分子
•快速-大多數(shù)應(yīng)用10分鐘內(nèi)可完成
臭氧控制系統(tǒng):
紫外臭氧清洗工作原理
UVO清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈,產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和 等離子氧氣產(chǎn)生,有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解;激發(fā)的 有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體,比如CO?,等。整個(gè)過(guò)程在室溫發(fā) 生,并且只需要1到幾分鐘完成。
紫外光處理表達(dá)方式:
紫外臭氧清洗可以去除?
皮膚油脂,有機(jī)硅油和油脂,助焊劑,殘留的光刻膠,膠水溶劑,碳等。
怎樣說(shuō)是“超”潔凈?
接觸角測(cè)量方法4-5度。適用AES和ESCA測(cè)量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測(cè)試,在冷凝 和蒸發(fā)時(shí)形成一致的彩虹裝的條紋。
應(yīng)用說(shuō)明
功能簡(jiǎn)介 | 技術(shù)參數(shù) |
設(shè)備結(jié)構(gòu) | 堅(jiān)固耐用,全部不銹鋼結(jié)構(gòu)。 |
UV指示燈 | UV"ON"指示燈和可見(jiàn)窗口。 |
燈泡工作方式 | 間歇式燈泡工作方式,燈和定時(shí)器通過(guò)關(guān)閉門來(lái)觸發(fā)。 |
滾珠軸承系統(tǒng) | 滑行部件采用托盤式采用平滑低震動(dòng)滾珠軸承系統(tǒng)-高度到38mm。 |
低壓石英燈 | 低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nmUV,促進(jìn)快速氧化,去除 微量的有機(jī)殘留物。 |
蜂鳴提醒 | 在操作過(guò)程結(jié)束時(shí)有蜂鳴聲。 |
精準(zhǔn)定時(shí)器 | 0-999秒/分鐘/小時(shí)定時(shí)器,能夠精確控制,燈和定時(shí)器通過(guò)門關(guān)閉 來(lái)觸發(fā)。臭氧排氣護(hù)罩 |
臭氧排氣護(hù)罩 | UVO托盤型號(hào)有一個(gè)臭氧護(hù)罩,這會(huì)使材料再次污染最小化。一個(gè) 76mm排氣出口內(nèi)置在護(hù)罩的后面,可以連接到排氣系統(tǒng),最小排氣100CFM (立方英尺/分鐘) |
*注1:白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃,這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量, 而不是一種涂 層。這種氧化鋁在
加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來(lái)的顏色。
**注2:清洗元件溫度的上升取決清洗過(guò)程的時(shí)間長(zhǎng)度。在大多數(shù)應(yīng)用,元件溫度可以視為室溫。
設(shè)備技術(shù)參數(shù)
Model | T10x10/OES | T16x16/OES |
光照尺寸 | 10"x10" (254×254mm) | 16"x16" (406×406mm) |
有效面積 | 100sq.in | 256sq.in. |
設(shè)備寬度 | 356mm | 508mm |
設(shè)備深度 | 603mm | 756mm |
設(shè)備高度 | 368mm | 368mm |
托盤推出深度 | 838mm | 1168mm |
滑行托盤 | 1片 | 1片 |
箱體結(jié)構(gòu) | 箱體和托盤為不銹鋼結(jié)構(gòu) | 箱體和托盤為不銹鋼結(jié)構(gòu) |
設(shè)備電源 | 220V/50~60Hz 1.6AmpMax | 220V/50~60Hz 2.5AmpMax |
臭氧系統(tǒng) | 有臭氧排氣系統(tǒng) | 有臭氧排氣系統(tǒng) |
排氣口尺寸 | 直徑76mm | 直徑76mm |
排氣風(fēng)量 | 100cfm | 100cfm |
定時(shí)器 | 在開(kāi)始或結(jié)束時(shí)峰鳴 | 在開(kāi)始或結(jié)束時(shí)峰鳴 |
“ON”指示器 | 有 | 有 |