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JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/16 20:44:51
訪問次數(shù)135

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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日本JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)，配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)

JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品規(guī)格
FIB
離子源：Ga （鎵）液態(tài)金屬離子源
加速電壓：1～30ｋV（5 kV/步）
放大倍率：×60 （用于視場(chǎng)搜索），×200～×300,000
圖像分辨率：5 nm (30 kV)
束流：60 nA (at 30 kV)
可變光闌：12 檔(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))
離子束加工形狀：矩形、線狀、點(diǎn)狀
樣品臺(tái)：.塊狀樣品用 5 軸測(cè)角樣品臺(tái)，X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ～－23 mm
T:－5 ～＋60°
R:360°無限
樣品尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ）

· 主要附件

· 氣體注入系統(tǒng) (IB-02100GIS2)

· 碳沉積圓筒 (IB-52110CDC2)

· 鎢沉積圓筒(IB-52120WDC2)

· 白金沉積圓筒 (IB-52130WDC2)

· 側(cè)插式測(cè)角樣品臺(tái) (IB-01040SEG)

· 束流探測(cè)器 (IB-04010PCD)

· 操作面板(IB-05010OP)

· 樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng) (IB-01200SNS)

· FIB Tip-on(上可以安裝附件的)樣品架(EM-02210)

· FIB 塊狀樣品用樣品架FIB (EM-02220)

· FIB 塊狀樣品用樣品架1(EM-02560FBSH1)

· FIB 塊狀樣品用樣品架2 (EM-02570FBSH2)

· FE-SEM 樣品架適配器 (EM-02580FSHA)

· 穿梭移動(dòng)夾頭Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

· 原位樣品提取系統(tǒng) (EM-02230)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

· 高性能FIB鏡筒

· JIB-4000采用高性能的FIB鏡筒，離子束流高達(dá) 60 nA，能進(jìn)行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，制備100 μｍ以上用來觀察的截面非常輕松。

· 用戶友好的FIB裝置

· JIB-4000高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計(jì)，建立了使用方便的FIB系統(tǒng)。即使不是FIB專家也能夠輕松操作，此外，該裝置小巧緊湊為業(yè)界最小體積，安裝地點(diǎn)的選擇范圍很大。

· 雙樣品臺(tái)

· JIB-4000標(biāo)配的塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側(cè)插式測(cè)角臺(tái)（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)能觀察整個(gè)表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品，樣品交換可以通過氣鎖式系統(tǒng)快速進(jìn)行。側(cè)插式測(cè)角臺(tái)與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同，因此Tip-on （上可以安裝附件的）樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用，這樣，F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進(jìn)行。

· 豐富的附件

· 有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對(duì)電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng)，對(duì)特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過給JIB-4000安裝適當(dāng)?shù)母郊?，該系統(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。