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無(wú)電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

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公司名稱杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/5/14 14:04:48
訪問(wèn)次數(shù)424

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)創(chuàng)立于2008年，經(jīng)過(guò)近12年公司同仁共同的的努力和發(fā)展，公司在光譜儀器、激光器系統(tǒng)及配件，生物光學(xué)和量子光學(xué)等領(lǐng)域和應(yīng)用有非常多的經(jīng)驗(yàn)和解決方案，同時(shí)也組建了一支專業(yè)的銷售和服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

公司秉承專業(yè)服務(wù)客戶為上的目標(biāo)，一直嚴(yán)格要求，以盡善盡美為工作方向，和客戶一起前行。目前公司在光譜儀器和激光檢測(cè)系統(tǒng)方面有自己的研發(fā)能力，開發(fā)出了便攜式土壤重金屬分析儀（LIBS）、便攜式紅寶石標(biāo)壓系統(tǒng)、顯微拉曼測(cè)量系統(tǒng)等。同時(shí)公司時(shí)刻關(guān)注新的技術(shù)和產(chǎn)品，目前代理包括微型光纖光譜儀、紅外光譜儀，飛秒激光器，納秒激光器，可調(diào)諧激光器，窄線寬激光器，He-Ne激光器等各種激光器和配件。同時(shí)代理各類光電檢測(cè)設(shè)備，包括功率計(jì)、能量計(jì)、光束質(zhì)量分析系統(tǒng)、脈寬測(cè)量探測(cè)器和自相關(guān)儀、偏振態(tài)測(cè)量系統(tǒng)。還有代理各類光學(xué)配件，包括光學(xué)元器件，位移系統(tǒng)，濾波片。

目前公司主要代理品牌如下：

美國(guó)海洋光學(xué)：光纖光譜儀及配件；

美國(guó)CEO：激光二極管，二極管側(cè)泵模塊，各類納秒激光器，激光控制器；

奧地利Montfrot：適用于便攜的超緊湊納秒高能量激光器，大功率皮秒、飛秒激光器；

美國(guó)EOT：高品質(zhì)隔離器、各類光電探測(cè)器；

美國(guó)DataRay: 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)及配件；

德國(guó)CarbonVision：高品質(zhì)碳纖維面包板及定制產(chǎn)品；

丹麥DFM：?jiǎn)晤l激光器；

德國(guó)GRINTECH：自聚焦透鏡、生物醫(yī)學(xué)用定制透鏡系統(tǒng)；

法國(guó)IRISIOME:皮秒可編程調(diào)諧激光器；

德國(guó)LIOP：超穩(wěn)定高精度光學(xué)調(diào)整架及光機(jī)械產(chǎn)品；

德國(guó)MRC：光束自穩(wěn)定系統(tǒng)；

立陶宛QLI:高能量緊湊風(fēng)冷納秒激光器，可五倍頻到213nm；

美國(guó)Axsun：OCT用高速掃頻激光光源；

專譜ProSP：各類定制光譜系統(tǒng)；

立陶宛Integrated Optics：超緊湊穩(wěn)定的半導(dǎo)體和DPSS激光器；

德國(guó)Class 5：高功率飛秒激光器系統(tǒng)，OPCPA系統(tǒng)。

展開顯示更多內(nèi)容

激光產(chǎn)品

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率！型號(hào)：EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR

無(wú)電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列產(chǎn)品信息

Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，這種光源從170nm通過(guò)可見光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度*、光譜平坦，壽命比傳統(tǒng)光源高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

無(wú)電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

Energetiq*的技術(shù)基于Z-Pinch等離子體，但是*不使用電極而是通過(guò)電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過(guò)磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁，能夠?qū)嶝?fù)載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。

主要特點(diǎn)

輸出波長(zhǎng)13.5nm，2nm-4nmTM
輸出功率10W@13.5±1%（可選20W型號(hào)）
重復(fù)頻率2kHz（可選10kHz型號(hào)）
無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)
符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

主要應(yīng)用

EUV度量學(xué)
耐EUV開發(fā)
缺陷檢測(cè)
EUV顯微學(xué)
水窗顯微鏡（XSR版本）

選型指南


型號(hào)	EQ-10	EQ-10HR	EQ-10HP	EQ-10SXR
輸出功率（用氙氣在2π球面）	10W,13.5nm,±1%寬帶	-	20W,13.5nm,±1%寬帶	400mW,2.8nm,產(chǎn)生2-4nm軟X射線
脈沖重復(fù)率	1200 to 2000 Hz	10kHz	1200 to 2500 Hz	2kHz
尺寸	小等離子體尺寸
殘留情況	低殘留
工作壓強(qiáng)	一般70到100 mTorr	一般150 mTorr	一般70到150 mTorr	-
氙氣流速	一般5到15 sccm	一般100 sccm	一般5到15 sccm	-
低成本	氙氣流速低，將消耗成本降低，占地面小
可靠性強(qiáng)	無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)，符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703
應(yīng)用	EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測(cè) EUV顯微學(xué)	EUV光學(xué)元件測(cè)量 EUV計(jì)量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測(cè) EUV顯微學(xué)	EUV掩膜檢測(cè) EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) EUV顯微學(xué)	水窗顯微鏡細(xì)胞微光束探測(cè)