| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)溫度控制裝置安裝注意事項(xiàng)
光刻機(jī)溫度控制裝置安裝注意事項(xiàng)
市場上關(guān)于光刻機(jī)溫度控制裝置的類型有多種，不同類型的光刻機(jī)溫度控制裝置其使用方法、作用、結(jié)構(gòu)等都存在一定的差異，所以企業(yè)在選擇時(shí)根據(jù)企業(yè)的狀況選擇適合自己的產(chǎn)品。
一、光刻機(jī)溫度控制裝置的安裝方法：
?。?/font>1）光刻機(jī)溫度控制裝置運(yùn)行時(shí)要產(chǎn)生熱量，應(yīng)確保冷卻空氣的流通，安裝時(shí)周圍應(yīng)留有一定的空間，產(chǎn)生的熱量向上散發(fā)，所以不要安裝在不耐熱設(shè)備的周圍。
（2）光刻機(jī)溫度控制裝置應(yīng)直接安裝在水平面，請勿倒裝、斜裝或垂直安裝。
?。?/font>3）光刻機(jī)溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維、紙片（屑）、金屬碎塊等場所。
?。?/font>4）光刻機(jī)溫度控制裝置的出水口應(yīng)與您的儀器的進(jìn)水口相連接，儀器的出水口應(yīng)與本冷卻循環(huán)水機(jī)的進(jìn)水口相連接。
二、光刻機(jī)溫度控制裝置的注意事項(xiàng)：
（1）電源一定要連接于主電源端子。如果錯(cuò)將電源連接于其它端子，將損壞冷卻循環(huán)水機(jī)。另外應(yīng)確認(rèn)電源電壓是否在允許電壓范圍內(nèi)。
?。?/font>2）接地端子須良好接地，防止電擊或火災(zāi)事故。
?。?/font>3）如是分體機(jī)，室內(nèi)機(jī)與室外機(jī)的氟路連接須由凍水機(jī)、光刻機(jī)溫度控制裝置廠家的技術(shù)人員負(fù)責(zé)安裝或調(diào)試。
?。?/font>4）光刻機(jī)溫度控制裝置，應(yīng)見各接線端子，接線時(shí)千萬不要接錯(cuò)線。
（5）各端子和連接線之間是否有短路或?qū)Φ囟搪贰?/font>
?。?/font>6）如使用溫度較低請?jiān)谘h(huán)液里加上防凍液。
（7）一定要用壓接端子連接端子和導(dǎo)線，保證連接的可靠性。
（8）完成電路連接后，請檢查連接是否都正確無誤。
（9）有無漏接線。
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