詳情介紹:
RTP快速退火爐的主要技術參數(shù)如下
加熱元件:鹵素電極;
加熱元件:鹵素電極;
電極數(shù)量:12支;
整機功率:7.2KW;
升溫速率:200℃/Second;
降溫速率:30秒(1000℃ → 400℃);
*高溫度:1100℃;
溫度精度:+/- 1℃;
*大樣品尺寸:4英寸;
氣氛環(huán)境:真空、氣體(氮氣、氬氣、氧氣)、空氣;
真空系統(tǒng):可根據(jù)實際需要選配無油機型泵或者分子泵
整機功率:7.2KW;
升溫速率:200℃/Second;
降溫速率:30秒(1000℃ → 400℃);
*高溫度:1100℃;
溫度精度:+/- 1℃;
*大樣品尺寸:4英寸;
氣氛環(huán)境:真空、氣體(氮氣、氬氣、氧氣)、空氣;
真空系統(tǒng):可根據(jù)實際需要選配無油機型泵或者分子泵
應用領域:
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴散
- 化合物半導體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴散
- 化合物半導體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…
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