電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些缺點(diǎn):
1.高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,輸入能量也很低。電容式傳感器因帶電極板間靜電引力極小,因此所需輸入能量極小,所以特別適宜用來解決輸入能量低的測(cè)量問題;
2.溫度穩(wěn)定性好,傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又因本身發(fā)熱極小,對(duì)穩(wěn)定性影響甚微;
3.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適應(yīng)性強(qiáng),待測(cè)體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作;
4.動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,由于極板間的靜電引力很小,可動(dòng)部分做得很小很薄,因此其固有頻率很高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。
5.可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,具有平均效應(yīng),當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí),電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工作表面粗糙等對(duì)測(cè)量的影響。