MicroCT-Barpattern-NANO分辨率測(cè)試卡,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡,采用雙硅芯片相互垂直、通過塑料支架固定的設(shè)計(jì)理念,使兩個(gè)3 x 3 mm²芯片均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點(diǎn)狀圖樣,寬度和直徑從1µm到10µm不等。
MicroCT-Barpattern-NANO分辨率測(cè)試卡,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡技術(shù)參數(shù):
柱狀部分:
直徑:5.2 mm
總長(zhǎng):19.1 mm
材料:致密塑料
芯片部分:
直徑:2.96 mm
總長(zhǎng):0.66 mm
材料:硅
芯片上圖樣尺寸范圍:1µm至10µm
圖樣深度:5µm至15µm
對(duì)比材料:硅/空氣
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個(gè)西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上,從而使用戶僅通過一次曝光和測(cè)量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展,我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO!