擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體產(chǎn)品特點(diǎn)
● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式
● 隔離式結(jié)構(gòu)，適用于多種流體介質(zhì)
擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體應(yīng)用領(lǐng)域
● 壓力檢測儀表
● 制冷設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)
● 液壓系統(tǒng)及開關(guān)
● 壓力校準(zhǔn)儀器
技術(shù)規(guī)格
| 量程： | -100kPa~0~60MPa |
| 壓力類型： | 表壓、絕壓和密封表壓型 |
| 過 壓： | 1.5倍滿量程壓力 |
| 精 度： | ±0.25%FS |
| 供電電源： | （5±0.1）V DC；（3.3±0.1）V DC |
| 長期穩(wěn)定性： | ±0.2%FS/年 |
| 工作溫度范圍： | -20~80℃ |
| 貯存溫度： | -40℃～125℃ |
| 振 動(dòng)： | 10g，20Hz～2000Hz |
| 沖 擊： | 100g，11ms |
技術(shù)特點(diǎn)：
1、靈敏度高
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率*。
2、精度高
擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級(jí)，且無機(jī)械磨損、無疲勞、無老化。平均*時(shí)間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
5、溫度性能好
隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻*性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。
6、抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
7、耐腐蝕性好
由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，也能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn)，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品，具有*良的性能價(jià)格比。
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