光纖器件無塵車間空氣凈化系統(tǒng)要求:
光單元生產(chǎn)車間溫度宜保持在15度~28度,相對濕度宜保持在40%~70%。
光柵光刻車間潔凈度不應低于7級,平面波導型光纖耦合器耦合車間潔凈度不應低于8級,其他光單元生產(chǎn)車間應為清潔廠房。
生產(chǎn)廠房潔凈區(qū)空氣潔凈等級應根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境要求確定。
空氣凈化系統(tǒng)宜采用上送測回或上送上回的送回風方式。
生產(chǎn)中產(chǎn)生有害氣體的工藝或設(shè)備應部排風或凈化裝置。
光纖廠房的生產(chǎn)環(huán)境應滿足生產(chǎn)工藝的要求,各生產(chǎn)房間的潔凈度等級和溫度、相對濕度應按本規(guī)范表4.1.5的規(guī)定取值。
新風宜集中進行空氣凈化處理,新風機組風機應變頻控制,并應設(shè)置壓差報警。
新風機組冷凍水供回溫度宜為6℃~12℃,循環(huán)機組冷凍水供回溫度宜為10%~16℃;加熱盤管宜采用熱水為熱媒。
初效、中效、高效三級空氣過濾器可布置在空氣處理機組內(nèi)。
拉絲間凈化空調(diào)的氣流組織應符合下列要求:
1 拉絲間凈化空調(diào)宜分層設(shè)置風口,每層宜采用上送下回的方式;頂層可采用側(cè)送上回的方式。
2 當拉絲塔設(shè)備配置了封閉的高潔凈度的凈化空氣循環(huán)系統(tǒng)時,宜采用分層側(cè)送側(cè)回方式。
在確定拉絲間凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風量時,應計算每層工作平臺的工藝設(shè)備發(fā)熱量。
拉絲塔設(shè)備的紫外固化裝置送、排風系統(tǒng)應符合下列要求:
1 送風系統(tǒng)應獨立設(shè)置,不得抽取室內(nèi)凈化空調(diào)空氣作為送風,空調(diào)器內(nèi)可設(shè)置表冷盤管、加熱盤管以及初效、中效及亞高效空氣過濾器,送風機組的風機壓頭應計算工藝設(shè)備內(nèi)部阻力;送風風管應核算風管承壓能力。
2 排風系統(tǒng)可高空排放。
3 熱排風風管應采用耐高溫耐高壓的材料。
4 涂覆揮發(fā)物排風風管應采用耐腐蝕的材料。
拉絲間應設(shè)置排煙設(shè)施。
相關(guān)規(guī)范:
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
GB 51123-2015光纖器件生產(chǎn)廠工藝設(shè)計規(guī)范
GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范
GB 50019-2015 工業(yè)建筑供暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范
GB 50243-2016通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范
GB 50016—2014(2018年版)建筑設(shè)計防火規(guī)范