光刻膠無塵烘箱,湖北百級無塵烘箱
光刻膠無塵烘箱,湖北百級無塵烘箱
PR膠涂覆就是在基板上涂上一層光刻膠(樹脂、感光劑、添加劑、溶劑),在完成PR膠的涂覆以后,PR膠還是處于一個液體的狀態(tài),為降低PR膠的流動性需要將PR膠進行干燥處理。
1.產(chǎn)品名稱:無塵烘箱
2.產(chǎn)品型號:COL-4
3.無塵等級:Class 100;
4.溫度范圍: +60℃~ +300℃;
5.溫度均勻度:±1.5%;
6.溫度波動度:±0.5℃(空載)
7.溫控精度:±0.1℃;
8.烘箱擱板為活動形式。
9.設(shè)備型號:工作室尺寸:W600×H1200×D800 ;外形尺寸W1100×H1870×D1150;加熱功率11.5 kw
10.烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
11.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;
12.箱體材料:采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔可防止微塵;
13.內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE;
14.中桶材料:采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
15 保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
16.排 氣 口:ф50;
17.加熱方式:無塵加熱器;
18.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A裝置 (特殊風(fēng)道設(shè)計)送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100
19.排氣口:3"φ(附自動啟閉風(fēng)門),以達(dá)到強烈循環(huán)效果而降溫。
20. 壓縮氣體過濾器,可把氣體過濾到CLASS 10,
21.控制器采用多段式微電腦溫度控制器,具有PID控制參數(shù)自動整定功能。
22.運行方式:恒定運行;
23. 溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻;
24.設(shè)定精度: 溫度:0.1℃;
25.溫控輸出:SSR輸出
26.完善的安全保護措施:漏電斷路器/超溫保護/欠相保護/馬達(dá)過載電流保護/機臺異常蜂鳴器警示