在半導(dǎo)體芯片制造過程中，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求非常高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升產(chǎn)品良率，特別是對于0.1μm粒子的檢測至關(guān)重要。

在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中，粒子計數(shù)器主要應(yīng)用于：

1. Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計數(shù)器檢測環(huán)境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。

2. gao端封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數(shù)器同樣發(fā)揮著關(guān)鍵作用，保證封裝質(zhì)量。

3. 半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)工藝的質(zhì)量監(jiān)測：通過粒子計數(shù)器對設(shè)備工藝點進行監(jiān)控，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

參考法規(guī)和標(biāo)準：

粒子計數(shù)器嚴格遵守ISO 21501-4法規(guī)，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測試方法的要求，適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境。

使用方法：

參照ISO14644-1（2015）法規(guī)的內(nèi)容，針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求，通過法規(guī)內(nèi)容的計算方法測算采樣點數(shù)及每個點采樣時間，對儀器進行設(shè)定后，按照該方法進行逐個點位測試。

KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數(shù)器3950-00，同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù)，也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù)，為芯片制造保駕護航！

Kanomax塵埃粒子計數(shù)器3950-00，不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承，而且實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中。

既往產(chǎn)品尺寸難以嵌入半導(dǎo)體制造裝備中使用，本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>

致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。

 0.1μm超小型粒子計數(shù)器KANOMAX 3950在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用