URE-2000/30Z 型光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：160mmX160mm

。曝光波長(zhǎng)：405nm

。分辨力：（膠厚 2m 的正膠）

。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)精度：±0.7mm

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍：X：±5mm；Y：±5mm； ： ±5°

。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸

。樣片尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、6 英寸

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。具備接觸式、接近式、真空曝光三種功能

。照明不均勻性： 4%（150mm×150mm 范圍）

。CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn)：光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800倍

。調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。掩模樣片分離間隙：δ=0-500um 連續(xù)可調(diào)

。焦厚：600（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

。光源平行度：1.2º

。曝光能量密度：>20mW/cm 2

2．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2 4

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。樣片電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸）

。樣片電動(dòng)抽拉式上下片機(jī)構(gòu)

（3）CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。CCD 兩組

。6 倍遠(yuǎn)心鏡頭 2 對(duì)

。21 英寸液晶顯示器

（4）樣片傳輸系統(tǒng)

。片盒 8 個(gè)（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸各 2 個(gè)）

。片盒升降臺(tái) 2 組

。光學(xué)預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

。4 自由度機(jī)械臂（雙臂）

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)5

。 控制柜桌

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái)（*泵）

。管道

注：可接廠房氣源系統(tǒng)

（8）技術(shù)資料

。 使用維修說(shuō)明書(shū)

3．外形尺寸：1800mm（長(zhǎng)）1500mm(寬) ?1700mm（高）

4．重量：240kg

5．電源：220V/10A 單相 6

6．功率：≤1800W

7．工作環(huán)境：

。氣壓：1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

。工作溫度：22±2℃

。設(shè)備儲(chǔ)存溫度：-40℃—50℃

。潔凈度：1000 級(jí)以上（建議）