AFMinSEM 針尖電子束光刻與掃描電子顯微鏡組合系統(tǒng)

AFMinSEM 德國 Nano analytik（ParcanNano)針尖電子束光刻與掃描電子顯微鏡組合系統(tǒng)

簡介：

公司以的針尖技術(shù)為核心競爭力，技術(shù)源自于德國伊爾默瑙工業(yè)大學(xué)，致力于主動式針尖技術(shù)在微納米結(jié)構(gòu)制備和表征方面的研發(fā)，及其相關(guān)設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。

公司開發(fā)的針尖技術(shù)模塊為滿足高精度成像而空間受限的應(yīng)用需求而設(shè)計，既可以在大氣環(huán)境下實現(xiàn)樣品快速表征，也可以集成在真空環(huán)境中，如集成在掃描電子顯微鏡（SEM）中。無需對SEM腔室進行任何改造，保留SEM原有功能，賦予嶄新的應(yīng)用領(lǐng)域，例如進行原位形貌表征、微操作和針尖誘導(dǎo)沉積。

技術(shù)特點：

。 不影響掃描電鏡自身功能
。4mm電鏡工作距離確保高分辨
。 原子力、電子束及離子束功能聯(lián)用
。 標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)法蘭接口，方便安裝
。 大氣、真空環(huán)境操作
。 體積小，重量輕，靈活
。 樣品可掃范圍大 20 x 20 mm
。 自激發(fā)自傳感智能針尖規(guī)

功能指標(biāo)：