SII 單離子注入機(jī)

SII 德國 Nano analytik（ParcanNano ）納米級精準(zhǔn)定位的單離子注入機(jī)

公司以的針尖技術(shù)為核心競爭力，技術(shù)源自于德國伊爾默瑙工業(yè)大學(xué)，致力于主動式針尖技術(shù)在微納米結(jié)構(gòu)制備和表征方面的研發(fā)，及其相關(guān)設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。

德國ParcanNano 納米級精準(zhǔn)定位的單離子注入系統(tǒng)SII 基于新型掃描針尖精準(zhǔn)定位的離子注入系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)有效控制注入半導(dǎo)體器件的雜質(zhì)種類、數(shù)量和位置?？捎糜诨陔婋x雜質(zhì)誘導(dǎo)的量子點(diǎn)所構(gòu)建的量子信息領(lǐng)域，研制的設(shè)備可用于探索納米結(jié)構(gòu)器件、量子比特系統(tǒng)和量子信息處理器電路的開發(fā)。

公司申請的一項(xiàng)革命性發(fā)明，解決了注入離子由于晶格散射帶來的位置不確定性問題，大幅減少離子注入后的擴(kuò)散，性地將注入離子在晶體中位置的誤差縮減到10nm以下，實(shí)現(xiàn)納米級精確定位注入摻雜離子。

產(chǎn)品擁有美國加州伯克利國家實(shí)驗(yàn)室、澳大利亞墨爾本大學(xué)、德國萊比錫大學(xué)、德國波鴻大學(xué)等科研客戶。

技術(shù)特點(diǎn)：

。精確定位定量離子注入
。錐形電場稀釋和準(zhǔn)直離子束
。橫向電場形成離子閘門

應(yīng)用領(lǐng)域：

。功能材料定位定量摻雜
。納米尺度功能器件制備
。固態(tài)量子信息技術(shù)