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5100系列-內(nèi)拋光氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間:2021-05-11 15:28:22瀏覽次數(shù):1217

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日本KOFLOC 5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光 金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m3/s以下內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

詳細(xì)介紹

性能參數(shù)

5100質(zhì)量流量控制器

量程(N2)

1SCCM-20SLPM

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.2%FS

響應(yīng)時(shí)間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進(jìn)口壓力

O.3Mpa

動(dòng)作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m3/s以下

內(nèi)拋光

Ra≤0.1

溫度范圍

5-45

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號(hào)

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標(biāo)配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約1000g


電氣連接

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

閥門全開/全閉

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

0-5V輸入

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

輸入COM

9針腳/紫色

閥門電源輸出


使用注意

一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口壓力3公斤。

五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

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