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詳細介紹
一、激光平面干涉儀 PG15-J參數(shù)
標準平面（A面），不鍍膜。 工作直徑 | D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30) |
第二標準平面（B面），不鍍膜。 工作直徑 | D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20) |
準直系統(tǒng) | D1=Φ146mm |
工作直徑 | f=400mm |
測微目鏡 | 焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X，視場角2w=40o，成像物鏡：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37 |
干涉室尺寸 | 深260*寬300*190mm |
光源規(guī)格 | 激光ZN18（He-Ne） |
外形尺寸 | 長*寬*高 350*400*720mm |
重量 | 100公斤 |
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