半導體行業(yè)用0.1μm加野粒子計數(shù)器3950-00 返回列表頁

型    號

3950-00

粒子測量

測試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑（0.1、0.3μm）

額定流量

0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)

測量時間

6秒~99分59秒（1次測量時間）

間隔時間

6秒~99分59秒（測量周期）

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測試

地點設定

99個地點

測量方式

重復、單次、連續(xù)、計算

測量數(shù)據(jù)顯示時間

1~10秒

測量數(shù)據(jù)顯示

累計值∑ 差分值△及柱形圖

最大可測濃度

10,000,000個/m3

計數(shù)效率

50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子）
100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）

偽 計 數(shù)

<1個/35min

粒徑分辨率

15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）

氣    源

內置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

本    體

USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）

數(shù)據(jù)存儲

媒    體

內存

數(shù)量、格式

最大10,000個、CSV格式

顯示語言

英文、日語

電   源

AC100~240V

使用環(huán)境

本    體

15~35℃、0~85%RH （無結露）

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

重    量

3.4kg