Micro小型臺式主動減振平臺

Micro小型臺式主動減振平臺儀器介紹

基本原理
通常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動，通常被動減振體系會設(shè)計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置，這樣大大提高了減振的效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
• 掃描探針顯微技術(shù)（AFM, STM）
• 納米力學(xué)探針
• 掃描電子顯微技術(shù)（SEM, FE-SEM）
• 共聚焦顯微術(shù)
• 超高真空掃描隧道顯微術(shù)（UHV-STM）
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產(chǎn)設(shè)備
• 半導(dǎo)體檢測儀器
• 膜片鉗 （Patch-Clamp）技術(shù)
• 光學(xué)輪廓儀
• 生命科學(xué)Screening stations
• 顯微硬度檢測儀
• 光學(xué)干涉儀
• 超微量天平

Micro小型臺式主動減振平臺性能特點(diǎn)

德國Accurion公司的Micro系列主動減振平臺是利用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置，這樣大大提高了減振的效果。
?安裝方便
?操作簡單

性能穩(wěn)定
?低頻振動效果猶佳