光刻膠前烘無(wú)塵烘箱，武漢無(wú)塵室烘箱

光刻膠前烘無(wú)塵烘箱，武漢無(wú)塵室烘箱

PR膠涂覆就是在基板上涂上一層光刻膠（樹(shù)脂、感光劑、添加劑、溶劑），在完成PR膠的涂覆以后，PR膠還是處于一個(gè)液體的狀態(tài)，為降低PR膠的流動(dòng)性需要將PR膠進(jìn)行干燥處理。
1.產(chǎn)品名稱：無(wú)塵烘箱  
2.產(chǎn)品型號(hào)：COL-4
3.無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
4.溫度范圍： +60℃～ +300℃；
5.溫度均勻度：±1.5%;
6.溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
7.溫控精度：±0.1℃;
8.烘箱擱板為活動(dòng)形式。
9.設(shè)備型號(hào)：工作室尺寸：W600×H1200×D800 ；外形尺寸W1100×H1870×D1150；加熱功率11.5 kw

10.烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
11.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
12.箱體材料：采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔可防止微塵； 
13.內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE； 
14.中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
15 保溫材料：超細(xì)玻璃棉； 
16.排 氣 口：ф50； 
17.加熱方式：無(wú)塵加熱器；
18.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A裝置 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100
19.排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)，以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫。
20. 壓縮氣體過(guò)濾器，可把氣體過(guò)濾到CLASS 10，
21.控制器采用多段式微電腦溫度控制器，具有PID控制參數(shù)自動(dòng)整定功能。
22.運(yùn)行方式：恒定運(yùn)行；
23. 溫度測(cè)量：采用特制鍇裝鉑電阻；
24.設(shè)定精度： 溫度：0.1℃；
25.溫控輸出：SSR輸出
26.完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器/超溫保護(hù)/欠相保護(hù)/馬達(dá)過(guò)載電流保護(hù)/機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示