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透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300E

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更新時間：2021-08-13 17:28:11瀏覽次數(shù)：201次

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上海比目儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。

詳細介紹

一、用途：
透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進行質(zhì)量控制最普通的儀器.

二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場
大視野目鏡	10X	Φ16

2.物鏡

類別	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑(NA)	工作距離(mm)
平場消色差物鏡（無蓋玻片）	5X	0.12	18.3
	10X	0.25	8.9
	40X	0.60	3.7
	60X	0.85	0.26

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 400X 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-4000X
4.載物臺：尺寸 185mm*140mm 移動范圍 75mm*50mm
5.調(diào)焦系統(tǒng)：帶限位和調(diào)節(jié)松緊裝置的同軸粗微動微動格值 0.002mm
6.濾色片組：轉(zhuǎn)盤式，黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.照明系統(tǒng)：6V/20W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)；220V（50Hz）
9.防霉:*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):300萬高像素的數(shù)字攝像頭帶測量軟件

三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-300E): 1、顯微微 2、適配鏡 3、300萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-300E)：50--40000倍（17寸顯示器為例）

五、選購件
1.二維測量軟件BM-3000C 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡：20X 80X