光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

型號(hào)		AES-4535  AES-4535W	AES-6035  AES-6035W	AES-8035  AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
溫度范圍		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
溫控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間		-25℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -25℃ 約20s	-45℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -45℃ 約20s	-55℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -55℃ 約15s	-70℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -70℃ 約20s	-80℃ to 150℃ 約11S 150℃to  -80℃ 約20s
空氣要求		空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃  0～50%RH
空氣處理能力		7m³/h ～ 25m³/h  壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示		制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器		西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制		控制出風(fēng)口溫度
可編程		可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議		以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋		設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋		T型溫度傳感器
壓縮機(jī)		法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器		套管式換熱器
加熱器		法蘭式桶狀加熱器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板		無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑		冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管		方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	80*120*185	100*150*185
外型尺寸（水）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	70*100*175	80*120*185
風(fēng)冷型		采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W		帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器		板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1
電源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
電源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展		高溫到 +300℃

 

光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

　　光刻機(jī)水冷機(jī)是一種常見(jiàn)的工業(yè)冷卻設(shè)備，光刻機(jī)水冷機(jī)安裝時(shí)需要選取合適的安裝位置，這樣可以減少制冷量損失并且操作更為便利。

　　1、應(yīng)當(dāng)盡量減少光刻機(jī)水冷機(jī)與被控溫設(shè)備的距離，這樣的好處是可以減少冷凍水在管路中的壓降和冷量損失，而且機(jī)組沒(méi)有遠(yuǎn)程控制功能時(shí)方便操作設(shè)備；

　　2、從散熱條件來(lái)說(shuō)，將光刻機(jī)水冷機(jī)安裝有良好的通風(fēng)環(huán)境，可以將機(jī)組帶出的熱量及時(shí)排出，另外考慮到為了方便機(jī)組操作，將光刻機(jī)水冷機(jī)的控制和故障反饋部分遠(yuǎn)程接入是非常有必要的。

　　3、光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音主要來(lái)自于壓縮機(jī)、循環(huán)水泵和風(fēng)機(jī)這幾個(gè)部件，其中風(fēng)機(jī)的噪音是主要的，常規(guī)的小型光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音還是比較小的，如果是在有靜音要求的地方比如實(shí)驗(yàn)室使用，則需要考慮光刻機(jī)水冷機(jī)組的降噪問(wèn)題。

　　4、光刻機(jī)水冷機(jī)組在使用和后期維護(hù)中可能需要補(bǔ)充一定量的循環(huán)水，所以安裝位置應(yīng)當(dāng)考慮有自動(dòng)補(bǔ)水的水源，以及設(shè)備檢修時(shí)可以方便地將循環(huán)水排出；如果光刻機(jī)水冷機(jī)采用的是手動(dòng)補(bǔ)水的方式，則只需考慮設(shè)備的排水問(wèn)題就可以了。

如果您想了解更多關(guān)于光刻機(jī)水冷機(jī)安裝位置的要求，也可以隨時(shí)與無(wú)錫冠亞取得聯(lián)系，我們的制冷工程師會(huì)隨時(shí)為您提供支持。