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回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備

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  • 型號(hào) BTF-1200C-V-R-280
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市

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更新時(shí)間:2020-08-11 14:25:28瀏覽次數(shù):636

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備
1、本設(shè)備提供一個(gè)五溫區(qū)的超長(zhǎng)溫場(chǎng),五個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制
2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動(dòng)開(kāi)啟。
3、流量計(jì)和加熱采用模塊化設(shè)計(jì),便于維護(hù)保養(yǎng)。
4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,zui高使用溫度可以達(dá)到1200度,使用壽命長(zhǎng),溫場(chǎng)流場(chǎng)均勻。
5、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
6、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理,美觀方便。

詳細(xì)介紹

回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備組成:

加熱系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

1、回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無(wú)須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

 

2、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

 

3、螺旋送料器:

先將樣品儲(chǔ)存于樣品罐中,通過(guò)螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始,達(dá)到自動(dòng)送料。

4、供氣系統(tǒng):

供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。

5、真空系統(tǒng):

真空機(jī)組,內(nèi)部安裝BSV-60機(jī)械泵1臺(tái),電阻真空計(jì)1套,并含有配套使用的波紋管,手動(dòng)擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù):

 

腔體尺寸

外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸)

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

加熱元件

進(jìn)口KTL電阻絲

加熱區(qū)數(shù)量

5區(qū),每個(gè)溫度獨(dú)立控制,使溫場(chǎng)均勻性更好

加熱區(qū)長(zhǎng)度

300+300+300+300+300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,兩個(gè)溫區(qū)設(shè)定同一溫度是恒溫區(qū)可達(dá)1200mm

zui高溫度

1200℃

建議長(zhǎng)時(shí)間使用溫度

<1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

設(shè)備功率

28KW

設(shè)備工作電源

380V/50HZ

熱電偶型號(hào)

K型

控制器

可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動(dòng)

控溫方式

人機(jī)界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

無(wú)紙記錄

內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

結(jié)構(gòu)描述

設(shè)備可對(duì)半電動(dòng)開(kāi)啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

轉(zhuǎn)動(dòng)密封收集系統(tǒng)

爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號(hào)根據(jù)要求定制)

zuida壓力

3MPa

接口

Φ6

顯示

液晶屏顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

 

五、真空機(jī)組參數(shù):

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

60m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF40

排氣口口徑

KF40

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

電阻真空計(jì)參數(shù):

配用規(guī)管:

ZJ-52T電阻規(guī),

測(cè)量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測(cè)量路數(shù):

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W

 

 

 

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