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詳細(xì)介紹
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計(jì)
頁面副小標(biāo)題 - 已被驗(yàn)證的長期穩(wěn)定性，高溫應(yīng)用中超高純表現(xiàn)
型號(hào) 5850EMH / 5851EMH
來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號(hào)。該信號(hào)用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動(dòng)歸零電路。
特點(diǎn)
- 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
- 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
- 高純度 VAR 316L 不銹鋼
- 無磨粒
- 氦泄漏檢查端口
- 常閉閥（可選常開閥）
- 電致動(dòng)閥復(fù)位
- 低命令流量斷流
- TTL 兼容"關(guān)閥"功能
優(yōu)勢
- 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺(tái)
- 高流量，高達(dá) 100 lpm（N2 當(dāng)量）
- 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
- 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修
應(yīng)用
- 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
- 水汽流量控制
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