微控擴散爐

生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：

全功能微控擴散系統(tǒng)

【產(chǎn)品簡介】

    該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴散、氧化、退火、燒結(jié)等工藝，也可用于磁性材料的燒結(jié)及機械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結(jié)。 

    控溫采用研制的高精度電腦控制系統(tǒng)，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，控制穩(wěn)定，操作簡單，維修方便。

【產(chǎn)品特點】  

●工藝溫度段數(shù)：1—14段，可選段運行

●單段時間范圍：1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段

●三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值

●三個溫度測控點獨立修正溫度測量值

●PID參數(shù)，溫度修正量可在線修改

●溫度設(shè)定單位：℃  分辨率：0.1℃

●工藝段時間設(shè)定單位：min，分辨率1min

●各類工藝數(shù)據(jù)斷電后長期保存

●工藝氣體流量，推拉舟運動狀態(tài)有微機實行閉環(huán)控制

●中文顯示各類提示信息

【主要技術(shù)指標(biāo)】

●擴散爐管數(shù)：1—4管/臺

●爐管內(nèi)徑：Φ90—Φ240mm

●恒溫區(qū)長度：≤600mm±1℃（300-#-800℃） 

             ≤600mm±0.5℃（800-#-1250℃）

●單點穩(wěn)定性：±1℃/24h（300-#-800℃）

             ±0.5℃/24h（800-#-1250℃）

●氣源路數(shù)：≤6路/管

●氣源控制：MFC或浮子流量計

●推拉舟行程：1500mm

●推拉舟速度范圍及精度：（1—1000）±3mm

●推拉舟位置控制精度：≤3mm

●冷卻方式：水冷+風(fēng)冷